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金属蚀刻工艺的结构性

金属蚀刻工艺的结构性
所谓结构性,是指工艺流程中各工序的组成形式及各工序之间的关联关系等,其工序之间组成形式的逻辑关系有两种:“与”的关系和“或”的关系。这种关系对于学过电子学的读者来说很容易理解,在这里用一个图I一2所示的电路形式来说明。

金属蚀刻工艺的结构性

金属蚀刻工艺的结构性

 

图1 -2(a)是与门的逻辑关系,从图中可以看出,如果需要灯泡发光,必须将4个关开全部按下才能完成这一逻辑关系的成立。图1 -2(b)是或门的逻辑关系,这时如果需要逻辑关系成立只需按下任意一个开关就可以了。如果是由图1 -2(a)与1 -2(b)同时组成的逻辑关系就称为“与或”门逻辑关系。
在这里用“与”和“或”可能不易理解,也可以换一种方式来理解。从图中也可以看出,1-2(a)的开关是串联关系,1一2(b)的开关是并联关系,在这里就用“串联”和“并联”来讨论工艺的结构性,请读者首先要记住,采用这种“与”和“或”的关系式不能完全按电路的逻辑去思维,特别是“或”的逻辑关系,按电路思维,可以是一个开关按下,也可以按下4个开关,但在工艺流程中不可能将一个工件同时放在两种或两种以上的溶液中进行处理,所以如果把这种逻辑关系用在工艺流程上就对这一逻辑关系有限制,即使是并联关系也只能是多选一。

对于绝大部分的工艺流程都是以串联为主的结构,部分上下工序之间也存在着多项选择的并联选一的关系。在工艺流程的串联结构中是按照顺序执行的程序进行,而并联关系中是按多选一的方式进行,在这里的多选也有两种方式:任选和有条件地选,这要看具体情况具体分析,不可一概而论。

比如除油,常用的化学除油方法有强碱除油、弱碱除油、弱酸除油、弱酸除油等4种,当要对某一工件进行除油处理时就有了4种选一的方案,如果工件表面污染轻,在不考虑溶液对工件的腐蚀性的前提下这4种方法都可采用,但倾向采用弱碱或弱酸的除油方式;如果工件表面污染较重,则只有选择强碱或强酸的除油处理,同样是不考虑溶液对工件的腐蚀性问题。在这里要注明一下,在除油中还有一种电解除油,对于污染严重的工件或要求很高的工件往往需要化学除油和电解除油联合采用,而这种联合使用其实已变成了串联关系。
对于一些大型工件的除油往往也会采用二次化学除油的方式,他们之间是属于串联关系。
在工艺流程中为了保证汉寸产品生产的有效控制,关键工序之间还会有回馈的关联,也可称为反馈,以确保产品质最的稳定和生产的正常进行。图1一3所示是一个工艺流程的结构形式。

金属蚀刻工艺的结构性

金属蚀刻工艺的结构性

需要特别注意的是,工艺流程图中的回馈对保证产品质量是非常重要的,每一个回馈点就是一个质量监测点,产品加工到这一步就必须对产品进行在线质I检查及时发现间题,并根据问题的性质对操作过程或工作溶液进行调整,可以说,在生产中如果做好了这一工作,其产品的质量稳定性就有了最基本的保证。从事这方面的工作人员务必注意。

 

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